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반도체 제조장비기술 > 전기/전자

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반도체 제조장비기술

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제조사 내하출판사
원산지 국내산
브랜드 내하출판사
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    상품 상세설명

    반도체 제조장비기술

    9788957175668.jpg

    도서명:반도체 제조장비기술
    저자/출판사:김현후/내하출판사
    쪽수:288쪽
    출판일:2024-02-20
    ISBN:9788957175668

    목차
    CHAPTER 01 반도체 제조공정의 이해
    CHAPTER 02 웨이퍼 제조공정 및 장비
    CHAPTER 03 산화 공정 및 장비
    CHAPTER 04 포토 공정 및 장비
    CHAPTER 05 식각 공정 및 장비
    CHAPTER 06 증착 공정 및 장비
    CHAPTER 07 이온주입 공정 및 장비
    CHAPTER 08 열처리 공정 및 장비
    CHAPTER 09 금속 공정 및 장비
    CHAPTER 10 패키징 공정 및 장비
    CHAPTER 11 기타 공정 및 장비
    APPENDIX 부 록
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