박막공학의 기초
도서명:박막공학의 기초
저자/출판사:최시영,김진섭,마대영,박욱동,최규만,김기완/일진사
쪽수:310쪽
출판일:2019-03-15
ISBN:9788942906062
목차
1 장 박막의 정의
1. 박 막 13
1－1 진 공 14
1－2 기체의 일반적인 성질 14
1－3 대기압 15
1－4 진공도 17
1－5 기체의 평균 자유행정 17
1－6 유확산 펌프의 작동 23
1－7 압력의 측정 24
1－8 McLeod 게이지 25
1－9 Pirani 게이지와 열전대 게이지 26
1－10 열이온적 이온화 게이지 27
2 장 박막의 제조방법
1. 화학적 및 전기화학적 방법 29
1－1 음극 전해 성막법 29
1－2 무전극 또는 무전기 성막법 30
1－3 양극 산화법 30
1－4 CVD법 31
1－5 액상 에피탁시법 32
1－6 Langmuir－Blodgett 막 형성법 33
1－7 흡착방법 33
2. 진공 증착 33
2－1 물리적 기초 33
2－2 실험 기술 35
3. 이온을 이용하는 방법과 음극 스퍼터링 45
3－1 2극 스퍼터링의 원리 45
3－2 저압 음극 스퍼터링 49
3－3 이온 프레이팅과 이온빔을 이용한 방법 51
4. 미세 마스크 제조 52
4－1 일반적인 마스킹 52
4－2 리소그래피 방법 52
4－3 이온선속 밀링과 이온주입 56
3 장 막의 두께와 증착률의 측정방법
1. 칭량법 57
1－1 미세 칭량법 57
1－2 수정 진동방법 58
2. 전기적 방법 61
2－1 전기저항 측정법 61
2－2 커패시턴스의 측정 61
2－3 Q－factor 변화에 의한 방법 62
2－4 이온화법 62
3. 광학적 방법 63
3－1 광흡수계수의 측정을 기초로 한 방법 63
3－2 간섭방법 64
3－3 파이로메트릭 방법 68
3－4 운동량 수송을 사용한 증착률의 모니터링 69
3－5 특수한 두께 모니터링 방법 70
4 장 박막형성의 메커니즘
1. 박막의 형성 71
1－1 박막의 형성 단계 71
2. 핵 형성 72
2－1 핵자 형성에 대한 열역학적 이론 76
2－2 핵자 형성의 통계적 이론 82
2－3 핵 형성과정에 대한 인자들의 영향 88
2－4 핵 형성이론의 증거를 위한 몇 가지 실험 93
3. 섬들 (islands) 의 성장과 합체 98
4. 막의 최종 구조에 대한 여러 인자들의 영향 106
4－1 음극 스퍼터링과 이온을 사용한 다른 방법에 의해 증착된 막의 성질 107
5. 박막의 결정학적 구조 111
6. 에피택시얼막 121
5 장 박막의 특성평가
1. 박막의 전자 현미경학적 고찰 126
1－1 투과 전자 현미경 126
1－2 복제기술에 의한 표면의 전자 현미경학적 검사 135
1－3 박막 표면의 직접 영상을 얻기 위한 전자 현미경 137
1－4 특별한 전자 현미경학적 방법 142
2. 전자 회절 148
2－1 반사나 투과에서 고에너지 전자회절(HEED) 148
2－2 저에너지 전자회절(LEED) 150
3. X-ray 방법 152
3－1 X-ray 회절 152
3－2 X-선 마이크로스코프 153
3－3 X-선 형광분석 153
4. 전자빔 방법 154
4－1 일반 원리 154
4－2 전자 마이크로브 분석(EMA) 157
4－3 Auger 전자 분광기 160
4－4 에너지 손실 분광기(ELS) 162
5. 이온빔 방법 163
5－1 저에너지 이온산란 163
5－2 Rutherford Backscattering (RBS) 165
5－3 2차 이온 질량 분광기 (SIMS) 166
5－4 이온이 유도된 X-선 방출 169
6. 광빔 방법 170
6－1 광전자 분광기 170
6－2 레이저로 유도된 분광기 172
6 장 박막의 특성
1. 박막의 역학적 특성 173
1－1 박막에서의 응력 174
1－2 박막의 응력 측정 178
1－3 박막의 역학적 상수 측정 181
1－4 박막의 부착성 184
1－5 Rayleigh 표면파 189
2. 박막의 전기적, 자기적 특성 191
2－1 연속적인 금속막의 전도도 192
2－2 불연속적인 금속막의 전도도 196
2－3 반도체 박막의 전기적 특성 201
2－4 기체 흡착에 의한 저항률의 변화 204
2－5 전자 마이그레이션 206
2－6 박막의 전류 자기효과 208
2－7 박막에서의 초전도 209
2－8 유전체 박막의 전도도 216
2－9 박막의 유전 특성 225
2－10 박막의 강자성 특성 230
3. 박막의 광학적 특성 234
3－1 기본적인 광학적 특성 234
3－2 광발생과 광도파로 236
3－3 광변조 239
7 장 박막의 응용
1. 역학적 특성의 응용 242
1－1 박막 코팅층의 사용 예 242
1－2 이온 보조 스퍼터링 243
2. 전자공학과 미세 전자공학에의 응용 244
2－1 전기적 접촉, 상호연결, 저항체 244
2－2 커패시터와 인덕터 247
2－3 능동 전자소자 248
2－4 집적회로 252
2－5 몇 가지 더 개선된 전자소자 255
2－6 강자성체와 초전도체 박막의 응용 256
2－7 표면파를 이용한 마이크로 음향소자 262
3. 광학, 광전자공학 및 집적광학에의 응용 264
3－1 광학에의 응용 264
3－2 광전자에의 응용 267
3－3 집적광학에의 응용 272
3－4 태양 에너지의 실용화 276
8 장 박막제조의 첨단기술
1. 단원자층 에피탁시 278
1－1 단원자층 에피탁시의 원리와 특성 278
1－2 ALE 의 성장기구 280
1－3 각종 재료의 ALE 286
2. 금속 인공격자 288
2－1 인공격자의 특징 288
2－2 금속 인공격자의 제조법 290
2－3 금속 인공격자의 기능 293
3. 나노 구조제어 295
3－1 V 홈 구조상 선택성장에 의한 구조제어 295
3－2 절연막 마스크 패턴상 선택성장에 의한 나노구조제어 296
3－3 凸형 스트립 구조상 선택성장에 의한 나노구조제어 298
3－4 면방위에 의한 나노구조제어 299
4. 원자 조작 300
4－1 주사형 프로브 현미경의 원리 301
4－2 SPM 에 의한 원자, 분자 조작 303
